近期，三星宣布其位于韩国华城的V1工厂已开始批量生产基于EUV（极紫外）光刻工艺的6nm和7nm芯片。根据三星的数据，到2020年底，其7nm以下的EUV芯产量将增加两倍。目前，三星计划在今年第一季度开始交付6nm和7nm EUV的芯片。
在2018年5月，三星攻克了7nm芯片技术，并研发了首款7nm EUV工艺芯片Exynos 9825，将其应用在旗舰机型Galaxy Note 10之上。未来，三星将继续深耕此道，着重于4nm和5nm芯片的研究，三星还表示，将在数年内突破3nm壁垒。
截止到现在，三星一共有6条芯片生产线，其中5条位于韩国（2条位于基兴市，3条位于华城），1条位于美国（德克萨斯州奥斯汀），它们还为著名的三星客户（如高通公司，英特尔和英伟达等公司生产芯片，目前苹果、华为、高通都已经提出了5nm芯片计划，只等三星和台积电的工艺达标了。
